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XYZ模块化高温探针台 HP1000V-MPS
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HCP1000V-MPS   XYZ模块化高温探针台 



HP1000V-MPS Instec的真空高温探针台系列是可从外部移动探针进行点针的桌上型探针台，涵盖多型号、

多温度范围。


同时允许温控、探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个可抽真空的密封腔，

亦可内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。


            


功能特点：

·mimi型温控探针台，可集成到各种光学设备

·可编程控温，涵盖RT~1000℃

·适用 10 mm ~25 mm 晶圆和器件

·可抽真空的腔体，亦可充入保护气体使用

·独立的四个探针，可从设备外部移动探针进行点针

·可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK

·模块化设计，可自由组合

·可升级为8个独立探针

·SMA接头转BNC四探针，手动点针 *可选三同轴接口，用于pA级测试

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